刀削麵加蛋 作品

第1365章 歷史時刻

    段雲同樣需要突破的還有光刻機技術,而這其中。

    頂級的光源,高精度的鏡頭和精密儀器製作技術是euv光刻機三大核心技術,阿斯麥的光源來自收購的子公司cymer;鏡頭來自深度綁定的蔡司;精密儀器則自身擁有多年的經驗和專利積累。

    其實從後世的芯片產業發展來看,國產光刻機在光源方面,以及光刻機對準臺方面,都已經得到了重大突破,達到了國際先進水平,中國的極紫外光也是相當厲害的,所以光源和工作臺並不是制約國產光刻機的最主要因素。

    而真正制約國產光刻機發展的是光刻機的鏡頭鏡片,阿斯麥能夠成為光刻機領域的老大,其最核心的技術就是來自於蔡司的光學鏡片。

    德國蔡司是一家老牌光學廠商,早在1890年就開始生產相機鏡頭,這家公司在行業的影響力不僅僅是賣相機鏡頭,蔡司還從事高端光刻機高精度鏡頭製造,荷蘭阿斯麥公司製造的光刻機基本上都是採用蔡司鏡頭。

    早年的時候日本尼康佳能憑藉很好的光學技術底子,也能生產出技術先進的光刻機,然而進入90年代之後,隨著芯片製程技術的不斷提高,尼康佳能都曾經嘗試去做更高的光刻機鏡頭,但結果都失敗了,只能放棄,在這個地球上,高精度的放大鏡只有德國蔡司鏡頭可以生產。

    光刻機對鏡頭的要求有多高,從他的技術構造上就可以看出來。

    位於光刻機中心的鏡頭,有20多塊鍋底大的鏡片串聯組成,鏡片必須是高純度透光材料加高質量拋光,而這種鏡面材質要做到均勻,至少需要幾十年到上百年的技術積累。

    同一個鏡片,不同工人去打磨,光潔度相差10倍。

    德國蔡司公司裡拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一職位。

    如果把阿斯麥光刻機的光學鏡片表面比作一個德國領土的話,那麼這上面的建築物誤差不能高於兩釐米,由此可見,這種光學鏡片的精度達到了令人匪夷所思的程度。