第1154章 光刻機

    原來在80年代，我國光刻機技術出現了一次“滑鐵盧”，不知道是科研資金不夠還是“飄了”，我國科研人員甚至一度放棄了光刻機的研究，並且倡導從國外進口。可能當時的人沒能考慮到進口的弊端，於是自研光刻機的事就一直被擱置了起來，就連前面20年的研究成果，也都付諸東流了。

    也許是中國半導體行業的不景氣，就連最後堅守在光刻機行業的武漢三廠最終也選擇了轉行，並賣起了零食，後來，直到臺灣台積電公司開發出了193nm光刻機，國人才終於頓悟，原來直至今日，我國光刻機還是依靠進口。

    通過田中信一的詢問，目前東芝電子廠已經可以生產4~5英寸圓晶，0.9微米級別的芯片。

    聽到田中的介紹，段雲內心有些暗暗吃驚。

    其實早在來日本之前，段雲對國內目前的芯片產業技術情況已經有了比較全面的瞭解。

    1986年，電子工業部在廈門召開集成電路發展戰略研討會，提出“七五”（1986—1990年）期間我國集成電路技術的“531”發展戰略，即普及推廣以742廠為基點的5微米技術，同時開發3微米技術，攻關1微米技術。

    但實際上，一直到1993年的時候，國內才開發出5英寸，三微米技術，而這比起日本，已經整整相差了15年以上。

    “這套設備我要了。”段雲走到一臺光刻機前，對田中信一說道。

    “段雲先生……”田中聞言先是愣了一下，隨即笑著對段雲說道:“這是目前我們公司最先進的光刻機，全日本也只有6臺，這個是不可能賣給你們的……另外你們生產的這種閃存芯片也用不著精密度這麼高的光刻機。”

    “那貴公司打算賣給我們哪一臺光刻機？”段雲問道。

    段雲其實早就知道東芝公司不可能把最先進的東西賣給自己，而且就算他賣，日本政府也不會同意。

    一直以來日本政府對於芯片產業扶持力度都非常大，不光稅收方面有優惠，東芝芯片產業的稅率只有百分之20，遠遠低於美國公司45%~50%的稅率，另外日本政府一直鼓勵國內頂級高校的大學生從事芯片產業技術研究，並且設立了相關專業的高額獎學金，也正是因為以上種種舉措，才使得日本的芯片產業力壓美國，成為全球第一。

    頂尖的光刻機是絕對不可能賣給中國的，除了日本政府的嚴格監督，還有就是受限於巴統協議，所以從一開始，東芝在中國半廠所用的設備註定不是最先進的。

    實際上光刻機一直都是制約中國國內芯片產業發展的瓶頸，其他方面諸如原晶切割機，蝕刻機這些東西，國內的技術和國際有差距，但是這種差距並不大，在技術難度上，遠比光刻機要簡單的多。

    也正是因為如此，段雲這是一開始，就把重點放在了光刻機的引進上。

    “請跟我來。”田中聞言，帶著段雲前往了另外一間無塵車間。